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리소그래피 기초
- • 빛으로 패턴을 새기는 공정이다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#lithography#photoresist
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
공정 기본 흐름
웨이퍼 기초 → 리소그래피 기초 → 식각 기초 → 증착 기초 → 배선 기초 → 테스트 기초 → 수율 기초
리소그래피 스택
마스크 기초 → 리소그래피 기초 → EUV 기초 → High-NA EUV → 결함 관리
선수개념
후속개념
정의 3줄
리소그래피는 마스크 패턴을 웨이퍼에 전사하는 공정으로 미세화의 핵심입니다. 해상도, 오버레이 정렬, 공정 윈도우가 품질과 수율을 좌우합니다. 패턴이 미세해질수록 노광·현상 조건이 민감해져 최적화가 중요합니다. 단순 인쇄가 아니라 전체 공정 정밀도를 결정하는 기준점입니다.
학습 자료
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