Learn Concept
EUV 기초
- • 극자외선 노광의 필요성을 이해한다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#euv
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
리소그래피 스택
마스크 기초 → 리소그래피 기초 → EUV 기초 → High-NA EUV → 결함 관리
선수개념
후속개념
정의 3줄
EUV는 극자외선 파장을 사용해 더 미세한 패턴을 구현하는 노광 기술입니다. 해상도는 높아지지만 장비·마스크 비용과 공정 난이도가 크게 증가합니다. 스토캐스틱 결함과 레지스트 반응이 주요 기술 과제입니다. EUV는 도입 이후에도 지속적인 공정 최적화가 필요합니다.
학습 자료
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