식각 기초

식각은 필요 없는 막을 제거해 원하는 형상과 깊이를 만드는 공정입니다. 이방성/등방성 식각, 선택비, 프로파일 제어가 결과 품질을 결정합니다. 미세화가 진행될수록 균일성과 잔류물 관리가 더 중요해집니다. ‘깎아내기’가 아니라 원하는 구조를 정밀하게 만드는 단계입니다.