Learn Concept
결함 관리
- • 결함 관리가 수율에 직결된다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#defect
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
리소그래피 스택
마스크 기초 → 리소그래피 기초 → EUV 기초 → High-NA EUV → 결함 관리
선수개념
후속개념
정의 3줄
결함은 파티클, 패턴 붕괴, 막질 불량 등 다양한 형태로 나타납니다. 결함 종류와 위치에 따라 회로 성능에 미치는 영향이 달라집니다. 검사 및 결함 분석은 수율 개선의 출발점입니다. 결함 관리는 미세화 경쟁에서 핵심 역량입니다.
학습 자료
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