핵심 요약
- 회로 패턴을 새기는 핵심 공정이다.
- 포토레지스트와 마스크가 핵심이다.
- 미세화 한계와 비용 이슈가 존재한다.
왜 알아야 하나
반도체 공정은 여러 단계가 연결된 시스템입니다. 각 단계의 역할을 이해하면 산업을 더 쉽게 파악할 수 있습니다.
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리소그래피 기초
- • 회로 패턴을 새기는 핵심 공정이다.
- • 포토레지스트와 마스크가 핵심이다.
- • 미세화 한계와 비용 이슈가 존재한다.
#lithography#patterning
업데이트: 2026-02-22
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출처 요약
en.wikipedia.orgibm.com
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