Learn Concept
High-NA EUV
- • 차세대 EUV 개념을 이해한다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#high-na
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
리소그래피 스택
마스크 기초 → 리소그래피 기초 → EUV 기초 → High-NA EUV → 결함 관리
선수개념
후속개념
정의 3줄
High-NA EUV는 수치개구를 높여 해상도를 개선한 EUV 기술입니다. 해상도는 좋아지지만 초점 심도가 줄어 공정 윈도우가 좁아집니다. 새로운 광학계와 마스크 조건이 필요해 공정 복잡도가 증가합니다. ‘더 미세하다’ 이상의 난이도 상승을 이해해야 합니다.
학습 자료
다음으로 보기
학습 경로로 돌아가 진행률을 체크하세요.