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증착 기초
- • 박막을 쌓아 구조를 만든다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#deposition#cvd
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
공정 기본 흐름
웨이퍼 기초 → 리소그래피 기초 → 식각 기초 → 증착 기초 → 배선 기초 → 테스트 기초 → 수율 기초
선수개념
후속개념
정의 3줄
증착은 얇은 막을 형성해 소자와 배선 구조를 만드는 기본 공정입니다. CVD/PVD/ALD 방식에 따라 균일도, 피복성, 처리 속도 특성이 달라집니다. 막 두께와 조성이 조금만 달라져도 소자 성능이 크게 변합니다. 증착은 코팅이 아니라 전기적/구조적 특성을 설계하는 과정입니다.
학습 자료
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