Learn Concept
이온 주입
- • 이온 주입 공정의 의미를 이해한다.
- • 선수개념 1개
- • 후속개념 1개
#ion-implantation
업데이트: 2026-02-22
학습 트레일
소자 구조 흐름
반도체란? → 도핑 기초 → 이온 주입 → 소자 구조 → 로직 기초
선수개념
후속개념
정의 3줄
이온 주입은 고에너지 이온을 주입해 원하는 도핑 분포를 만드는 공정입니다. 주입 에너지와 도즈가 임계전압, 누설전류 등에 직접 영향을 줍니다. 주입 과정에서 생긴 손상은 어닐로 복구해야 합니다. 도핑 공정은 주입–어닐–확산의 연계로 이해해야 합니다.
학습 자료
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